Material Removal Rate Prediction for Sapphire Double-Sided CMP Based on RSM-SVM

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DOI:10.1149/2162-8777/ac8371

作者： Zhongyang Li, Z. Deng, Jimin Ge, Rongjin Zhuo, L. Wan

文献类型：期刊论文

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文献链接： https://doi.org/10.1149/2162-8777/ac8371

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