Investigation of electrical properties of peald-deposited Ti/Al2O3/Al/Si MIM capacitors

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10 由用户kC7Qwi 发布于 2026-11-12 11:22

DOI:10.1142/s0217979221400452

作者： Sumit R. Patil, Viral N. Barhate, A. Mahajan, Haoyu Xu, M. Rasadujjaman, Jing Zhang

文献类型：期刊论文

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文献链接： https://doi.org/10.1142/s0217979221400452

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