Recovery and reuse of magnetic silica-coated iron oxide particles for eco-friendly chemical mechanical planarization

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10 由用户wNeqJr 发布于 2026-09-07 13:12

DOI:10.1016/j.colsurfa.2024.134064

作者： Jihoon Seo , Jae Uk Hur , Sungmin Kim , Young Seo Kim , Young Hwan Kim , Kiho Bae , Kangchun Lee , Gye Seok An

文献类型：期刊论文

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文献链接： https://doi.org/10.1016/j.colsurfa.2024.134064

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